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極紫外&軟X射線相機(jī)

昊量光電推出搭載 Gpixel GSENSE400 BSI Pulsar的scmos科學(xué)級(jí)相機(jī)型號(hào)，其擴(kuò)展了xiJ 系列冷卻scmos相機(jī)，增加了適用于XUV和軟X射線成像的型號(hào)。

長期以來，恩斯特·阿貝定義的衍射極限成為了限制小物體分辨的天然障礙。為了克服這一限制，人們開發(fā)了 STED、STORM、PALM、TEM 等多種技術(shù)，采用了較好的照明和檢測技術(shù)。阿貝極限的原始含義是：粒子的波長越短，分辨率越高。因此解決圖像中小結(jié)構(gòu)特征的可觀測性也更高。這一基本定律適用于可見光和電磁波譜的所有光子。其中包括含有高能量的極紫外線 (XUV)、倫琴輻射 (Xray) 和電子的光子。

當(dāng)衍射極限仍然有效時(shí)，使用XUV（CWL：13.5nm）、軟X射線和高能電子，可以將分辨率提高得更高。從而能夠解決生物過程（細(xì)胞、人體）以及材料中的精細(xì)結(jié)構(gòu)特征和動(dòng)態(tài)。

為了滿足這些需求并發(fā)揮XUV/軟Xray的巨大潛力，昊量光電在科學(xué)相機(jī)產(chǎn)品組合極紫外/軟X射線相機(jī)中添加了新的MJ042MR-GP-P11-BSI-UV型號(hào)。

該型號(hào)配備了新型Gpixel GSENSE400BSI-UV（PulSar）sCMOS傳感器，結(jié)合了珀?duì)柼鋮s和USB3接口。攝像機(jī)機(jī)身通過標(biāo)準(zhǔn) DN 63 CF 真空法蘭進(jìn)行擴(kuò)展?？筛鶕?jù)需要提供其他法蘭格式。通過使用新的 Pulsar 傳感器，光譜范圍從紅外線 (IR)、可見光 (VIS) 和紫外線 (UV) 擴(kuò)展到軟X射線范圍，波長范圍覆蓋從0.5到1000nm。

極紫外軟X射線相機(jī)特點(diǎn)：

4.2 Mpix，2“ 背照式紫外線傳感器
sCMOS傳感器 - Gpixel GSENSE400BSI Pulsar
能夠檢測真空紫外光 - VUV
能夠檢測極紫外光 - EUV
能夠檢測軟X射線光子
80 至 1000 eV - 量子效率接近 100%
線性度大于 99.5%
采用Peltier TEC冷卻的科學(xué)CMOS相機(jī)
48 Fps with USB3 interface 48 Fps，帶 USB3 接口

極紫外/軟X射線相機(jī)波長敏感度范圍：

軟X射線	0.2 - 12 納米 (0.1 – 5KeV)
極紫外 (XUV)、極紫外 (EUV)	10 - 124 納米 (<0.1Kev @ 連續(xù)波:13.5納米)

GSENSE 400 BSI Pulsar 傳感器的量子效率圖

極紫外&軟X射線相機(jī)優(yōu)點(diǎn)：

優(yōu)勢：	總體優(yōu)勢：
快速圖像采集和高幀率 - 48 Fps 袖珍的簡單的USB接口珀?duì)柼鋮s——溫度穩(wěn)定性（銦墊片等）自定義傳感器計(jì)時(shí) 改進(jìn)的傳感器室，無排氣，保護(hù)電子設(shè)備	量子效率高達(dá) 99% HDR 模式下的動(dòng)態(tài)范圍高于 95 dB 低噪音約 1.7 e- 高滿阱容量-高達(dá)128K e- 提高軸向-橫向分辨率真空兼容性（暴露的傳感器）

極紫外&軟X射線相機(jī)應(yīng)用

這種探測器的應(yīng)用范圍十分廣泛，涵蓋天文學(xué)、納米技術(shù)以及工業(yè)和生命科學(xué)等各個(gè)領(lǐng)域。

業(yè)界需要新技術(shù)來通過相干衍射成像技術(shù)來縮小電子元件的尺寸并提高其質(zhì)量。

另一方面，科學(xué)需要這種輻射來克服衍射極限并解決更小的結(jié)構(gòu)特征。

對于這兩者，昊量光電開發(fā)了一種在軟 X 射線光譜和斷層掃描中具有高靈敏度的新型相機(jī)。

此外，許多化學(xué)氣體以及生物相關(guān)分子在軟X射線和紫外線范圍內(nèi)具有光譜特征。

因此，這些相機(jī)非常適合可視化和量化平面中的中尺度生物學(xué)和3D圖像重建以及其他應(yīng)用，例如：

XANES	X-PEEM	STXM	EUV lithography	NEXAFS	UVRR
X射線吸收近邊結(jié)構(gòu)光譜	X射線光發(fā)射電子顯微鏡	掃描透射 X 射線顯微鏡	半導(dǎo)體計(jì)量	近邊X射線吸收精細(xì)結(jié)構(gòu)	紫外共振拉曼光譜
高光譜	法醫(yī)	太陽成像	相關(guān)顯微鏡	添加劑制造	FIB/SEM：3D 成像
軟X射線水窗層析成像	大氣化學(xué)/成分	XUV 疊層成像和光譜分析	電子檢測成像	相襯成像

Specifications: 規(guī)格：
Resolution 分辨率	4.2 MP 2048 x 2048 像素
Frame rates 幀速率	48 fps @ 12bit (STD), 24 fps @ 16bit (HDR)
Sensor model 傳感器型號(hào)	Gpixel GSENSE400 BSI Pulsar
Sensor type 傳感器類型	科學(xué) CMOS （sCMOS）背面照明
Sensor size 傳感器尺寸	2"
Sensor active area 傳感器有效區(qū)域	22.5 x 22.5 (31.8 mm Diagonal)
Spectral range 光譜范圍	80 - 1000 eV VUV、EUV 和軟 X 射線
Readout method 讀出方式	Rolling shutter 卷簾快門
Pixel size 像素大小	11 μm
Digitization 數(shù)字化	2x 12 (16 Bit from API)
Data interface 數(shù)據(jù)接口	USB3 Gen1 Type-C connector
Dynamic range 動(dòng)態(tài)范圍	95 dB (HDR)
Full Well Capacity 滿阱容量	80 000 e-
dark current 暗電流	under 12e/px/s @ 0°C
Readout noise typ. 讀出噪聲典型值	2 e-
exposure range 曝光范圍	19.8 μs to 2147 s
I/O Ports I/O 端口	1 GPI and 1 GPO Isolation potential 50VDC
Power consumption 功耗	3.5 W - 16 W with Cooling
Lens mount 鏡頭卡口	DN 100 CF vacuum flange mechanics modification
Dimensions WxHxD 尺寸：寬x高x深	114 x 114 x 68 mm
Cooling 冷卻	Up to -25°C (with Peltier TEC)

極紫外/軟X射線相機(jī)

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